台阶阵列阴极真空微电子压力传感器

摘要

台阶阵列阴极真空微电子压力传感器，由阳极压力敏感模、具有台阶的阴极、绝缘层和真空腔构成该阴极呈四周高中间低的台阶状。本发明提高了传感器的灵敏度和量程。