ZnS/CuInS<,2>/Mo/钠钙玻璃衬底上射频溅射ZnO:Al薄膜的SEM研究

摘要

本文结合ZnO薄膜在Cu-III-VI<,2>基薄膜太阳电池上的应用,采用射频(RF)磁控溅射技术以陶瓷ZnO:Al<,2>O<,3>为靶材在ZnS/CuInS<,2>/Mo/钠钙玻璃衬底上于固定沉积条件下低温(200℃)制备了铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)薄膜.运用扫描电子显微镜(SEM)研究了底层材料特别是ZnS和CuInS<,2>的生长参数对沉积的ZnO:Al薄膜的表面形貌的影响.实验发现,衬底材料中硫含量的增加(无论来自ZnS还是来自CuInS<,2>),都会引起沉积ZnO:Al薄膜结晶质量的提高,而金属含量的增大将有利于薄膜均匀性的改进.