玻璃衬底上p型ZnO薄膜的制备

摘要

本文主要采用超声喷镀法在玻璃衬底上制备了N-A l共掺的p型ZnO薄膜.研究了前驱溶液的不同配比对薄膜电学、结构特性的影响.X射线衍射的结果显示:共掺与本征ZnO具有很相似的结晶特性。霍耳测试结果表明:随着A l原子掺入量的逐渐增加,制备ZnO的类型逐渐由n型转换成p型,进一步提高后又转换成n型,文中对其中的原因进行了讨论。在普通玻璃衬底上制备出了空穴浓度达到4.6×1018cm-3,同时迁移率和电阻率分别为0.4 cm2.V-1.-s1、3.3Ω.cm的p型ZnO薄膜。