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机译:一种用于扩散和回火工艺的由硅或碳化硅制成的保持装置的生产方法
公开/公告号DE2349512C3
专利类型
公开/公告日1978-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AG 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN;
申请/专利号DE19732349512
发明设计人 BACHMANN GERHARD;DIETZE WOLFGANG DR.;
申请日1973-10-02
分类号C23C11/08;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 22:05:21
机译: 一种用于扩散和回火工艺的由硅或碳化硅制成的保持装置的生产方法