公开/公告号EP0594182A3
专利类型
公开/公告日1997-09-24
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申请/专利权人 CANON KABUSHIKI KAISHA;
申请/专利号EP19930117100
发明设计人 FUSHIMI MASAHIROC/O CANON KABUSHIKI KAISHA;YAGI TAKAYUKIC/O CANON KABUSHIKI KAISHA;AKAIKE MASATAKEC/O CANON KABUSHIKI KAISHA;
申请日1993-10-21
分类号H01L21/20;G01P15/12;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 03:20:43