公开/公告号WO2018191125A1
专利类型
公开/公告日2018-10-18
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申请/专利权人 VERSUM MATERIALS US LLC;
申请/专利号WO2018US26535
发明设计人 BIRTCHER CHARLES MICHAEL;VIVANCO GILDARDO;IVANOV SERGEI V.;SHEEHY WILLIAM;STEIDL THOMAS ANDREW;
申请日2018-04-06
分类号C23C16/448;C23C16/52;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:42:15