用于在沉积方法中使化学前体鼓泡的无气溶胶容器、使用其的贮器和系统

摘要

本实用新型描述了用于在沉积方法中使化学前体鼓泡的无气溶胶容器、使用其的贮器和系统，以提供对用于沉积方法的贮器中前体利用的改善、以及贮器的清洁和再填充。由于某些前体分解蒸气而导致的阀门和管道堵塞得以最小化。本实用新型防止雾的形成并因此防止来自气溶胶的堵塞或晶片污染。