静电辅助的气溶胶化学气相沉积法制备Y2O3薄膜的研究

摘要

用静电辅助的气溶胶化学气相沉积的方法成功的在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜。0.01M乙酰丙酮钇的溶液在高压电场中被雾化为带电小颗粒,在Si(100)衬底上发生一系列的物理化学反应沉积薄膜。X射线衍射结果表明Y2O3薄膜在热处理前为非晶态结构,热处理之后薄膜具有立方结构,并且沿(111)面择优生长。SEM分析显示薄膜由致密的纳米级颗粒组成,AFM结果表明薄膜的粗糙度较小,并且由XPS分析可知薄膜为完全的氧化物。