用于在沉积方法中使化学前体鼓泡的无气溶胶容器

摘要

本发明描述了无气溶胶容器、递送贮器、使用其的系统和方法，以提供对用于沉积方法的贮器中前体利用的改善、以及贮器的清洁和再填充。由于某些前体分解蒸气而导致的阀门和管道堵塞得以最小化。本发明防止雾的形成并因此防止来自气溶胶的堵塞或晶片污染。