公开/公告号US10833168B2
专利类型
公开/公告日2020-11-10
原文格式PDF
申请/专利号US201916297145
申请日2019-03-08
分类号H01L29/66;H01L29/08;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/423;H01L27/12;H01L29/06;H01L21/84;H01L21/311;H01L21/02;H01L21/265;H01L27/11;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:27:25