公开/公告号CN101840964B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-04-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200910080069.9
申请日2009-03-18
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:09:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 33/00 授权公告日:20120425 终止日期:20160318 申请日:20090318
专利权的终止
2012-04-25
授权
授权
2010-11-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/00 申请日:20090318
实质审查的生效
2010-09-22
公开
公开
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