PTCR欧姆接触电极制备方法现状

摘要

从半导瓷和金属电极的欧姆接触理论出发,详细的叙述了PTCR欧姆接触电极的各种主要制备方法.通过对这些方法的优缺点的分析,指出磁控溅射法由于具有制备工艺简单、无工业污染、电极成本低廉、膜层致密均匀、附着力强等优点,将在PTCR欧姆接触电极的制备工艺中占据重要地位,工业前景广阔.