法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-02-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/84 授权公告日:20090819 终止日期:20111211 申请日:20071211
专利权的终止
2009-08-19
授权
授权
2008-07-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-21
公开
公开
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