ZnO; thin film transistor; flexible display; transparent devices;
机译:通过由原子层沉积制造的Zn-Al-O界面在ZnO膜中的氧空位,增强了基于ZnO的透明柔性透明薄膜晶体管的性能。用原子层沉积制造的Zn-Al-O界面
机译:关于在薄膜晶体管应用中原子层沉积过程中掺入Al掺杂的ZnO有源通道中的位置控制Al层的作用的研究
机译:通过原子层沉积和射频溅射制备的ZnO薄膜作为薄膜晶体管的有源层
机译:具有原子层沉积基于ZnO的有源沟道层的高性能透明薄膜晶体管
机译:用于大面积电路应用的等离子增强原子层沉积ZnO薄膜晶体管。
机译:原子层沉积技术制备的双层沟道AZO / ZnO薄膜晶体管
机译:使用HF和Al共同合并ZnO有源通道的薄膜晶体管在原子层沉积中的可靠性增强
机译:用于下一代显示器的原子层沉积制备的高性能和高可靠性ZnO薄膜晶体管。