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面向多组份气体定量检测的ZnO纳米线阵列可控制备方法研究

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本项目以开发高灵敏度、高选择性、对多组份气体具有良好检测功能的微纳气体传感器为目标,提出利用微流控技术在衬底表面可控制备纯净/贵金属掺杂的ZnO纳米线阵列气敏材料的技术方案,并在此基础上借助MEMS设计和制造工艺,实现微纳气体传感器结构的最优设计与微型化制造,提高传感器对多组份气体的检测灵敏度与稳定性,为开发具有混合气体检测功能的微纳气体传感器奠定理论和技术基础.

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来源
《第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016）》|2016年|427|共1页
会议地点沈阳
作者
邓霄;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212:TP205;
关键词
微纳气体传感器; 氧化锌; 微流控技术; 多组份气体; 定量检测;
入库时间 2022-08-17 11:22:03

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