用于晶圆地域性零件平均测试的线性缺陷侦测方法

摘要

本发明提出一种用于晶圆地域性零件平均测试的线性缺陷侦测方法，该方法包含步骤：a)将一晶圆上的晶粒布局转换为一等比重制图形，其中已测为缺陷晶粒部分以特殊图样标注；b)将该等比重制图形，以晶圆中心为定点，向一特定方向旋转一转置角度；c)在固定的相互垂直之二方向上寻找线性连续的缺陷晶粒群组；d)重复步骤b)与步骤c)，直到已旋转之总和为90度；及e)标注该些线性连续的缺陷晶粒群组。利用等比重制图形的旋转进行演算，本方法可以找到任意角度连续缺陷晶粒线条，用以侦测晶圆片人为或机器刮伤依据。此外，本方法执行速度极快，可减少运算时程。