公开/公告号CN106947958B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-09
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201611177342.6
申请日2016-12-19
分类号C23C16/458(20060101);C23C16/513(20060101);H01L21/687(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人李献忠;邱晓敏
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:38:46
机译: 用于减少晶片背面沉积的可变温度硬件和方法
机译: 可变温度硬件和减少晶片背面沉积的方法
机译: 可变温度硬件和减少晶片背面沉积的方法