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真空泵

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摘要

一种真空泵(100)，包括第一组(106)涡轮分子站、分子牵引站(112)、第一入口(120)，通过第一入口流体可朝向泵出口(116)通过第一组(106)站和分子牵引站(112)、第二和第三组(108、110)涡轮分子站，它们位于第一组(106)和分子牵引站(112)之间、第二入口(122)，第二和第三组(108、110)设置为使得通过第二入口(122)进入该泵的流体被分离成两股流，每股流分别通过第二和第三组(108、110)中相应的一个，以及导管装置(126)，用于朝向出口(116)输送流体通过第一组(106)以及第二和第三组(108、110)中的一个。

著录项

  • 公开/公告号CN100429406C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2008-10-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 爱德华兹有限公司;

    申请/专利号CN200480028086.3

  • 发明设计人 I·D·斯通斯;

    申请日2004-09-23

  • 分类号F04D19/04(20060101);F04B37/14(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人杨松龄

  • 地址 英国西萨塞克斯郡

  • 入库时间 2022-08-23 09:01:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-11-09

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F04D 19/04 授权公告日:20081029 终止日期:20150923 申请日:20040923

    专利权的终止

  • 2008-10-29

    授权

    授权

  • 2008-01-16

    专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20071214 申请日:20040923

    专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

  • 2007-01-03

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-11-08

    公开

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