真空泵的排气系统、装备于真空泵的排气系统的真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法

摘要

实现精度良好地测量旋转部的温度的真空泵的排气系统、真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法。在有关本实施方式的真空泵的排气系统中，真空泵至少在旋转部的温度测量时，供给以下的某一方的量的吹扫气体：在比温度传感器单元靠下游侧的至少一部分、吹扫气体的流速比倒流的气体的流速快的量；或温度传感器单元周围的气体压力成为中间流或粘性流的量。进而，本实施方式的排气系统具有能够对向真空泵导入的吹扫气体的流量进行控制的吹扫气体供给装置。通过该结构，在温度测量时在温度传感器单元周围，防止工艺气体的倒流而防止成分结构变化，能够精度良好地测量旋转部的温度。