動作音を用いた真空ポンプの故障診断：動作音から見た真空ポンプの摩耗性故障進行モデル同定

摘要

半導体集積装置の製造ラインは、稼働率向上のために終夜の運転が一般的である。しかし、長期の連続運転は構成部品を摩耗させ、故障による装置の突発的停止を発生させる。摩耗性の故障を生じる装置の一つとして、冷却用真空ポンプがある。ポンプの停止には製造中の半導体素子への不具合発生のほか、ライン停止による生産計画への影響などの大きなリスクがある。