動作音を用いた真空ポンプの故障診断手法

摘要

昨今の半導体の競争激化から、製造コスト低減は、当該製造業者の喫緊の課題であり、メンテナンス方式最適化への要求は、さらなる高まりを見せている。本研究では、機器を停止することなく摩耗状態の診断を行うことができる動作音による摩耗性故障の診断手法·ツールを開発することを目標とする。実は、ベテランメンテナンス技術者の間では、寿命末期に動作音が、なhとなく変化することが経験的に知られていた。本診断手法·ツールは、これら経験知を、誰もが使えるツールとして実現しようとしたものとも言える。