与标准CMOS工艺兼容的HVCMOS双栅氧制备工艺

摘要

本发明是与标准互补金属氧化物半导体(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor，CMOS)工艺兼容的高压CMOS(High Voltage CMOS，HVCMOS)双栅氧制备工艺，采用干-湿法相结合的厚栅氧刻蚀方法，并在一次多晶硅栅刻蚀后加做一次侧墙缓和一次多晶硅栅的台阶高度。本发明在与标准CMOS工艺相兼容的高压CMOS集成技术中可以显著提高器件及电路性能，并具有工艺简单，成本低等优点。