用于晶圆的两层LTO背面密封

摘要

本发明提供一种用于晶圆的两层LTO背面密封。这两层LTO背面密封包括具有第一主面和第二主面的低应力LTO层，该低应力LTO层的第一主面与该晶圆的一个主面相邻。所述两层LTO背面密封进一步包括具有第一主面和第二主面的高应力LTO层，该高应力LTO层的第一主面与该低应力LTO层的第二主面相邻。