法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G06F 17/50 授权公告日:20080625 终止日期:20151116 申请日:20051116
专利权的终止
2008-06-25
授权
授权
2006-07-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-05-24
公开
公开
机译: 光刻中分辨率增强技术和光学邻近校正的验证方法
机译: 用于光学邻近校正的设备,用于光学邻近校正的方法以及用于光学邻近校正的计算机程序产品
机译: 用于光学邻近校正的设备,用于光学邻近校正的方法以及用于光学邻近校正的计算机程序产品