公开/公告号CN100365777C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-01-30
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申请/专利权人 蓝姆研究公司;
申请/专利号CN03815546.X
发明设计人 阿龙·埃普勒;穆昆德·斯里尼瓦桑;罗伯特·舍比;
申请日2003-06-13
分类号H01L21/311(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人王允方;刘国伟
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:00:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-01-30
授权
授权
2005-11-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-07
公开
公开
机译: 使用氟碳和碳气的蚀刻气体来蚀刻具有改进的电阻和/或蚀刻轮廓特征的介电膜的过程
机译: 使用氟化碳和氢气的蚀刻气体来蚀刻具有改进的电阻和/或蚀刻轮廓特征的介电膜的过程
机译: 具有改进的电阻和/或蚀刻轮廓特征的介电膜蚀刻工艺