一种仿生微悬臂梁结构、其制造方法及压阻传感器

摘要

本发明提供了一种仿生微悬臂梁结构、其制造方法及压阻传感器，所述微悬臂结构包括：呈悬臂梁结构的硅衬底、设置在所述硅衬底中的仿生孔缝组，以及设置在所述硅衬底上表面的梁上压敏电阻、衬底压敏电阻和电极引线；两个所述仿生孔缝组呈对称排列在所述硅衬底中心轴左右两侧；所述仿生孔缝组包括至少一条仿生缝；仿生缝为基于蝎子缝感受器仿生而成；所述梁上压敏电阻与衬底压敏电阻之间通过电极引线构成惠斯通电桥。本发明基于彼得异蝎跗骨关节处缝感受器应力放大的机理，同时应用微纳制造技术设计出一种超敏感知微信息的微悬臂梁结构。本发明提供的微悬臂梁结构具有灵敏度高、检测精度高、易于批量生产等特征。