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刘剑; 李昕欣; 金大重; 刘民; 王跃林; 左国民; 余海涛; 包菡涵;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室;
悬臂梁; 压阻敏感; 电磁激励; AGC式闭环电路; 谐振模态; 质量检测分辨率;
机译:基于压阻信号降混方案的硅基微悬臂梁谐振频率的并行检测
机译:前端发布的单晶硅压阻微悬臂梁传感器
机译:压阻硅纳米线对谐振MEMS传感器频率分辨率的转导性能
机译:硅压阻微悬臂梁,用于电位传感
机译:用于表面应力研究的优化的硅压阻微悬臂梁传感器
机译:Kilobar Blast压力传感器 - 使用硅传感器技术的3.4 Kilobar压阻式爆破压力传感器。
机译:具有双压电晶片致动和压阻读数的微悬臂梁传感器
机译:基于两轨压阻微悬臂梁的非光学爆炸传感器
机译:在微悬臂梁谐振器中测试质量测量漂移的质量补偿
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