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脊形波导与二维光子晶体相结合的硅基拉曼激光器结构

摘要

一种脊形波导与二维光子晶体相结合的硅基拉曼激光器结构,包括:一SOI材料;一脊形波导,该脊形波导做在SOI材料上;一P型硅,该P型硅制作在脊形波导的一侧边;一N型硅,该N型硅制作在脊形波导的另一侧边;一光子晶体后端反射镜,该光子晶体后端反射镜位于脊形波导的后端,刻蚀在SOI材料上;一光子晶体前端反射镜,该光子晶体前端反射镜位于脊形波导的输入端,刻蚀在SOI材料上;该光子晶体前端反射镜和光子晶体后端反射镜和脊形波导组成激光器的谐振腔,光子晶体对光起到全反射镜的作用。

著录项

  • 公开/公告号CN100373721C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2008-03-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN200510011900.7

  • 发明设计人 许兴胜;王春霞;陈弘达;

    申请日2005-06-09

  • 分类号H01S5/22(20060101);H01S5/10(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:00:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-08-19

    专利权的终止(未缴年费专利权终止)

    专利权的终止(未缴年费专利权终止)

  • 2008-03-05

    授权

    授权

  • 2007-02-14

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-12-13

    公开

    公开

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