公开/公告号CN100373721C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200510011900.7
申请日2005-06-09
分类号H01S5/22(20060101);H01S5/10(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:00:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-08-19
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2008-03-05
授权
授权
2007-02-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-12-13
公开
公开
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