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聚酰亚胺薄膜上激光诱导选择性化学镀的方法

摘要

本发明公开了一种聚酰亚胺薄膜上激光诱导选择性化学镀的方法。将聚酰亚胺薄膜先进行改性制成表面束缚银离子的聚酰亚胺薄膜,然后将表面束缚银离子的聚酰亚胺薄膜用聚焦激光进行选择性辐射,再经过稀酸处理及高温加热后进行化学镀可得到聚酰亚胺薄膜表面上微米级图形化的化学镀层。本发明实施简单、污染小、图形可电脑实时控制,并且镀层与底材结合力好,图形分辨率、选择性高。本发明在线路板制造、集成电路等电子工业有良好的应用前景。

著录项

  • 公开/公告号CN100355938C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-12-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海交通大学;

    申请/专利号CN200510110438.6

  • 发明设计人 路庆华;陈东升;

    申请日2005-11-17

  • 分类号C23C18/00(20060101);C23C18/14(20060101);C23C18/54(20060101);

  • 代理机构31201 上海交达专利事务所;

  • 代理人罗荫培

  • 地址 200240 上海市闵行区东川路800号

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:59

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-01-25

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 18/00 授权公告日:20071219 终止日期:20101117 申请日:20051117

    专利权的终止

  • 2007-12-19

    授权

    授权

  • 2006-07-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-05-17

    公开

    公开

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