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陈益芳; 袁承超; 蒋华; 张远明; 陈云飞;
东南大学机械工程系;
东南大学工业发展与培训中心;
东南大学教育部MEMS重点实验室;
微型图元; 激光; 化学镀; 活化; 选择性镀膜;
机译:激光改性聚酰亚胺上用于化学镀铜的选择性银晶种
机译:激光诱导的聚酰亚胺上的定点银晶种用于化学镀铜
机译:激光增强化学镀银种子层的选择性化学镀铜工艺
机译:激光诱导的p-硅晶片上Pt的选择性沉积
机译:化学和物理理解半导体上的扩散阻挡层:(hfac)铜(VTMS)及其在硅(100)-2 x 1和氮化钛碳覆盖的硅上的配体。
机译:用于选择性化学镀铜的滤纸上激光诱导的银种子
机译:通过寡硅 - 硅氧烷交联诱导弹性,用于本质上可拉伸的半导体聚合物
机译:激光诱导绝缘子上硅再生的金属半导体反应现象及微观结构研究
机译:通过对镍和/或金@进行镀铜,选择性上光,剥离和电沉积,在氧化铝陶瓷基底上化学镀铜底涂层。导电带
机译:在激光直接结构化基板上化学镀铜的工艺
机译:在半导体器件制造过程中从硅锗/硅叠层中选择性去除硅锗合金上硅的蚀刻解决方案
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