用于通过激光束使半导体结晶化的方法

摘要

由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。通过一个光束扩展器纠正在该激光束之间的发散角的差别。本发明的一种用于使半导体结晶化的方法，包括如下步骤：把由多个激光源所发射的激光束通过一个聚焦光学系统照射到基片上的半导体层上，以使该半导体层熔化和结晶化，其中由多个激光源发射的激光束所形成的多个光点在基片上的半导体层上至少部分地相互重叠。