一种多级电热驱动MEMS执行器及其制造方法

摘要

本发明提供一种多级电热驱动MEMS执行器，包括一衬底和位于该衬底上的多级驱动单元，所述多级驱动单元的每一级驱动单元都包括一驱动端、一宽梁和一窄梁；所述宽梁和窄梁处于平行于所述衬底的同一平面内，一端共同连接于所述驱动端，另一端分别连接一支点；第一级驱动单元的支点固定于所述衬底上，并作为用于给第一级驱动单元供电的供电点；从第二级驱动单元算起的任意一级驱动单元的两个支点通过绝缘连接结构共同刚性连接于相邻上级驱动单元的驱动端，且每一支点还各连接一柔性供电结构的一端，所述柔性供电结构的另一端作为给所在级驱动单元供电的供电点。