机译:基于电热驱动的MEMS执行器的性能
Dept. of Electr. & Comput. Eng., Michigan State Univ., East Lansing, MI, USA|c|;
MEMS actuators; actuator dynamics; phase transition; vanadium dioxide;
机译:电热致动
机译:平面电热驱动线性微型执行器的性能表征
机译:用于低功率应用的新型电热致动侧向RF MEMS闩锁开关的设计和仿真
机译:HDD电热驱动微执行器的热机械性能
机译:MEMS执行器提高了性能和耐用性
机译:高增益稳健的多自由度电热驱动MEMS陀螺仪的设计与分析
机译:电热和压电驱动的碳化硅mEms谐振器的温度稳定性
机译:polymEms执行器:基于聚合物的微机电(mEms)执行器,具有宏观作用