法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-25
授权
授权
2016-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20140718
实质审查的生效
2016-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20140718
实质审查的生效
2015-01-21
公开
公开
2015-01-21
公开
公开
机译: 基板清洗机,基板清洗装置,清洗后的基板的制造方法以及基板处理装置
机译: 基板清洗装置,基板清洗装置,清洗后的基板的制造方法以及基板处理装置
机译: 基板清洗装置,基板处理装置,基板清洗方法和基板处理方法