基板用清洗件、基板清洗装置、基板处理装置、基板处理方法以及基板用清洗件的制造方法

摘要

本发明提供一种基板用清洗件、基板清洗装置、基板处理装置、基板处理方法以及基板用清洗件的制造方法，基板清洗装置包括：保持被处理基板并使该被处理基板旋转的基板保持辊；以及边缘清洗部，该边缘清洗部与所述被处理基板的边缘部接触，并且至少与所述被处理基板接触的部分由包含氟类树脂粒子的树脂材料构成。