次世代超大型ガラス基板FPD工場の生産革命動向：芝浦メカトロニクスのG8対応縦型洗浄装置－超大型基板対応ウェットプロセスの新コンセプトツールと縦型装置

摘要

市場では地上波デジタル放送が開始され、家電量販店では薄型大型TVへの買い替え需要が飛躍的に伸びている。 商品のTVのターゲット消費者は一般家庭の主婦が主流であり、当然安くて良いものが求められる。 液晶パネルメーカーは今までの生産工程を見直し生産コストを下げる一方で、液晶TVに適した広視野角化等の新しい技術の導入を常に検討する必要がある。 製造装置メーカーはこれに対応するためハード·プロセスの技術革命に臨み、省スペース·省エネルギー·高効率化を武器に、基本性能を確保しつつC.O.O.の低減に努めなければならない。 液晶TV画面の大型化に伴い、マザーガラスの大型化が加速している。 特に第4世代サイズを超えてからの加速はめざましく、パネルメーカーは第8世代の設備導入を始めた（図1）。 製造設備の大型化にともない、製造装置コスト·装置占有面積の増大だけでなく、消耗部品を含めたランニングコストの増大、装置の大型化によるメンテナンス性の悪化が問題となってくる。 製造設備の大幅な見直しが必要となる。