一种平移式OLED基板清洗装置

摘要

cqvip:介绍了一种OLED平移式基板清洗装置,其包括驱动机构和清洗机构。驱动机构主要由固定座、电机、偏心轮及往复座组成;清洗机构主要由喷嘴固定架、输入总管及等间距安装于喷嘴固定架上的若干管道组组成,管道组分别与输入总管连通且设置有朝向基板的喷嘴,喷嘴固定架与往复座固定连接且悬置于基板上方。清洗时,电机通过偏心轮带动往复座往复运动,往复座带动喷嘴固定架往复运动,清洗液通过喷嘴固定架上的喷嘴均匀充分地喷洒在基板上,可对直线运动中的基板在线进行不间断快速清洗。该装置主要用于OLED光刻及蚀刻等工艺过程中的基板清洗。