蒸着基板のダイシング後洗浄（4槽式超音波自動洗浄装置）－ダイシング後の蒸着膜付きチップ洗浄のコンパクト化

摘要

蒸着した基板のダイシング後洗浄について、切断したワークの取り扱い、洗浄治具の形状、洗浄剤と洗浄工程、超音波の機能と選択、超音波を有効に活用するための方法など、実際の加工例から具体的な洗浄方法を解説する。