鳍上外延沟道、鳍式场效应晶体管的制造方法

摘要

本发明公开了一种鳍式场效应晶体管鳍的制造方法，包括：提供衬底，衬底中形成有相互隔离的鳍；进行鳍外延前的前烘，以去除鳍上的自然氧化层，并在前烘的腔室中对鳍进行回流；在鳍上生长外延层。本发明中，回流后使得鳍的高度降低，沟道区原有的掺杂残留会下移至鳍的下部，重新生长的外延层作为部分或新的沟道，具有更好的器件特性。