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多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法

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本发明公开了一种多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法，该方法首先确定被测膜样片的测量系数k，再测定该被测膜样片的总厚度h，然后计算被测薄膜层的厚度h

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公开/公告号CN1272602C

专利类型发明授权
公开/公告日2006-08-30

原文格式PDF
申请/专利权人天津理工大学;
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申请/专利号CN200510013378.6
发明设计人杨保和;陈希明;吴小国;马靖;
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申请日2005-04-29
分类号
代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司;
代理人廖晓荣
地址 300191 天津市南开区红旗路263号
入库时间 2022-08-23 08:58:57

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-07-28

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 21/08 授权公告日:20060830 申请日:20050429

专利权的终止
2006-08-30

授权

授权
2005-11-23

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-09-28

公开

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