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公开/公告号CN105206580B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201510491168.1
发明设计人 陈宏;曹子贵;王卉;徐涛;魏代龙;
申请日2015-08-11
分类号H01L27/11521(20170101);H01L21/28(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 10:10:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-01
授权
2016-01-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/8247 申请日:20150811
实质审查的生效
2015-12-30
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