一种利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用

摘要

利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用，发光二极管阵列对微悬臂梁进行频率照射，所述微悬臂梁产生频率振动信号。由函数信号发生器输出的频率为f/N相位差为2π/N的相同振幅且加一偏压的交流信号分别控制N个发光二极管，这样在时域上便会表现出一个频率为f的信号，利用其驱动微悬臂梁振动，则振动频率为f，实现了由发光二极管阵列激发高阶振动的目的，提高微悬臂梁作为探测器或传感器的灵敏度。微悬臂梁作为气体或液体探测器使用时，当采用不同波段发光二极管阵列激发处于所测气体或液体环境中的微悬臂梁共振时，便可由共振振幅或品质因子的改变获得所处气体或液体对不同波段光的吸收，以确定气体或液体的组份及含量。