一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用

摘要

本发明涉及一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用，包括步骤如下：(1)通过调制激光照射微悬臂梁表面，激励其振动；(2)通过连续激光照射微悬臂梁表面，在微悬臂梁表面产生热效应，通过控制连续激光的功率调谐其共振频率；(3)采集、处理微悬臂梁的振动信号。本发明可实现微悬臂梁共振频率的连续调谐，相对于微悬臂梁阵列实现频率带宽的增加，本发明拓展了其应用带宽，且微悬臂梁的共振阶次越高，其频率调谐范围越大。本发明可作为一种检测振动频率的探测器使用。由于微悬臂梁可以通过与具有一定频率的外界物理量的相互作用，使物理量的能量转换为梁的动能，从而根据梁的振动频率来实现对物理量频率的检测。