法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-27
授权
授权
2015-04-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20130820
实质审查的生效
2015-04-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20130820
实质审查的生效
2015-03-18
公开
公开
2015-03-18
公开
公开
机译: 时间失效分析方法,时间失效分析装置及时间失效分析程序
机译: 球栅阵列型半导体芯片的失效分析方法
机译: 球栅阵列型半导体器件芯片的失效分析方法