使用多变量分析的等离子体蚀刻终点检测

摘要

公开了一种用于使用光学发射光谱(OES)数据作为输入确定蚀刻过程的终点的方法。由附接至等离子体蚀刻处理工具的光谱仪获得光学发射光谱(OES)数据。首先将获得的时间演变光谱数据过滤和去均值，之后使用诸如主成分分析的多变量分析，将获得的时间演变光谱数据变换成变换后的光谱数据或趋势，在主成分分析中先前计算的主成分权重用来实现该变换。包含多个趋势的函数形式可以用于更精确地确定蚀刻过程的终点。公开了用于在实际蚀刻之前基于从先前蚀刻处理收集的OES数据计算主成分权重的方法，该方法有助于趋势和包含多个趋势的函数形式的快速计算，用于蚀刻过程终点的有效和准确的在线确定。