用于鳍状场效应晶体管的金属栅极和栅极接触件结构

摘要

本发明公开了用于鳍状场效应晶体管的金属栅极和栅极接触件结构，其中本公开的实施例包括：衬底，衬底的一部分向上延伸形成鳍状物；覆盖鳍状物的顶面和侧壁的栅极介电层；覆盖栅极介电层的衬垫；以及位于覆盖栅极介电层的衬垫的一部分之上的连续金属部件，其中衬垫从连续金属部件的顶面开始延伸并覆盖金属部件的侧壁，栅极介电层、衬垫和连续金属部件共同形成栅极、栅极接触势垒和栅极接触件。本发明还公开了用于鳍状场效应晶体管的金属栅极和栅极接触件结构。