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公开/公告号CN105047751B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海技术物理研究所;
申请/专利号CN201510296009.6
发明设计人 胡淑红;王洋;吕英飞;孙艳;戴宁;
申请日2015-06-02
分类号
代理机构上海新天专利代理有限公司;
代理人郭英
地址 200083 上海市虹口区玉田路500号
入库时间 2022-08-23 09:50:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-18
授权
2015-12-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20150602
实质审查的生效
2015-11-11
公开
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