一种减震式防护型半导体晶圆存储运送装置

摘要

本实用新型公开了一种减震式防护型半导体晶圆存储运送装置，包括运送车、用于存储半导体晶圆的置物架以及防护围栏，运送车的车体上铺设有置物架减震垫，置物架设置于置物架减震垫上，防护围栏围合置物架设置；置物架包括外围框架和设置于外围框架内的至少一块支撑板，每块支撑板上具有至少一个减震槽位，每个减震槽位内均嵌设有用于搁置半导体晶圆的产品底座，产品底座的座面布置有多块产品减震垫，且产品底座为内部中空、外表面分布通风孔的镂空壳体结构。本实用新型提供了一种减震式防护型半导体晶圆存储运送装置，减震防护效果好，有效保证了半导体晶圆在运送过程中的稳定性与安全性。