MEMS陀螺仪、电子处理单元和角速度感测系统

摘要

本公开涉及MEMS陀螺仪、电子处理单元和角速度感测系统。MEMS陀螺仪有由支撑结构承载以在彼此垂直的驱动方向和第一感测方向上移动的移动质量块。驱动结构以驱动频率管控移动质量块在驱动方向上的移动。移动感测结构耦合到移动质量块，并且检测移动质量块在感测方向上的移动。正交注入结构耦合到移动质量块，并且使移动质量块分别在第一和第二校准半周期中在感测方向上进行第一移动和第二移动。移动感测结构供应幅度在第一值和第二值之间切换的感测信号，该第一值和第二值取决于由于外部角速度以及第一和第二正交移动而导致的移动质量块的移动。感测信号的第一值和第二值彼此相减，并且与储存的差值进行比较，以供应比例因子的变化信息。