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陀螺仪; MEMS; 精确度; ADI; 速率; Sensor; 数字输出; 振动条件;
机译:用于原位MEMS陀螺仪校准的微级的片上电容感测和倾斜运动估计
机译:基于压阻NEMS驱动和感测运动检测的MEMS陀螺仪
机译:MEMS陀螺仪感测元件部分频率失去对振幅频率响应的影响
机译:使用MEMS速率陀螺仪和线性加速度计的刚性多体机械臂的几何辅助角加速度感测
机译:MEMS磁盘陀螺仪中的低噪声感测方法。
机译:微型制造过程驱动的设计有限公司分析和3 DOF驱动模式的系统建模和2-DOF感测模式热稳定的非谐振MEMS陀螺仪
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机译:载波感测用于高数据基速率环网的多址接入协议
机译:提供2轴加速度感测和1轴角速率感测的微机械多传感器
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